Produktų aprašymas
Pažangiausioje{0}}puslaidininkių gamybos srityje aliuminio oksido keramikos kamerų įdėklai naudojami kaip svarbiausių proceso kamerų pamušalas ir šerdies eksploatacinės medžiagos. Dėl išskirtinių medžiagų savybių jie suteikia stabilią, gryną ir patvarią reakcijos aplinką pagrindiniams procesams, tokiems kaip lustų ėsdinimas, plonos -plėvelės nusodinimas (CVD/PVD) ir jonų implantavimas. Jų veikimas tiesiogiai įtakoja proceso tikslumą, gamybos išeigą ir įrangos eksploatavimo išlaidas.
Produkto našumas
- Išskirtinis atsparumas plazmos korozijai: ėsdinimo ir CVD procesų metu kameros užpildomos didelės-energijos, labai reaktyviomis plazmomis (pvz., fluoro- arba chloro -pagrindo). Didelio-grynumo aliuminio oksido keramika pasižymi dideliu cheminiu inertiškumu, veiksmingai atspari bombardavimui ir cheminei erozijai iš tokios plazmos.
- Išskirtinis grynumas ir mažas užterštumas: 99,9 % aliuminio oksido keramikos-ir net 99,99 % aliuminio oksido keramikos- grynumas užtikrina minimalų metalo jonų (pvz., Na, K, Fe) ar kitų priemaišų išsiskyrimą esant aukštai{6}}temperatūrai ir plazmai.
- Aukštos{0}}temperatūros stabilumas ir mažas išmetamųjų dujų greitis: aukštai-temperatūrai-atspari aliuminio oksido keramika išlaiko ilgalaikį stabilumą 1600 laipsnių kampu. Jų santykinai mažas šiluminio plėtimosi koeficientas lemia minimalią deformaciją pakartotinio terminio ciklo metu.
- Išskirtinis mechaninis stiprumas ir tvirtumas: nepaisant to, kad tai keramika, didelio{0}}grynumo aliuminio oksido keramika pasižymi išskirtiniu lenkimo stiprumu ir kietumu (9 Moho kietumas, antras po deimantų). Jis atlaiko mechaninius įtempius ir surinkimo apkrovas, užtikrindamas kameros konstrukcijos vientisumą.
- Puikios izoliacinės savybės: kaip puikus elektros izoliatorius, jis efektyviai izoliuoja plazmą nuo metalinių ertmių, padeda tiksliai kontroliuoti plazmos morfologiją ir pasiskirstymą.
- Atsparumas šiluminiam smūgiui: Dėl optimizuotų medžiagų formulių ir mikrostruktūrinės kontrolės šiuolaikinė aliuminio oksido struktūrinė keramika pasižymi padidintu atsparumu šiluminiam smūgiui, todėl gali atlaikyti greitus temperatūros svyravimus apdorojimo metu ir sumažina įtrūkimų riziką.
Produkto taikymas
- Pagrindinės kameros apsauga: neleidžia proceso metu susidarusiems šalutiniams reakcijos produktams (jei plėvelės medžiagos ir šalutinių produktų dalelės) tiesiogiai nusėdėti ant brangių ir sunkiai-valomų-nuolatinių kameros sienelių bei svarbiausių komponentų, todėl žymiai pailgėja pagrindinės įrangos eksploatavimo laikas ir sumažinamos priežiūros išlaidos.
- Palaikykite proceso švarą: sumažinkite dalelių šaltinius kameroje sulaikydami teršalus ir šalutinius produktus. Kai įdėklų paviršiai labai sustorėja arba labai užteršti, juos galima tiesiogiai pakeisti, greitai atkuriant kameros švarą ir išsaugant produkto išeigą.
- Optimizuokite proceso našumą: tam tikri įdėklai (jei dujų paskirstymo plokštės) tiesiogiai dalyvauja procese, užtikrindami vienodą reakcijos dujų pasiskirstymą kameroje. Tai garantuoja vienodą plėvelės nusodinimą arba ėsdinimą.
kokybės kontrolė
Griežtai laikomės ISO 9001 kokybės valdymo sistemos, kad užtikrintume pastovią gaminių kokybę:
- 100% žaliavų patikrinimas, siekiant užtikrinti kokybę iš šaltinio;
- Pažangių karšto{0} presavimo gamybos linijų naudojimas tiksliems ir patikimiems procesams;
- Namų našumo tikrinimas-, įskaitant tankio, kietumo ir mikrostruktūros analizę;
- Trečiųjų{0}}šalių patikimų sertifikatų turėjimas (pvz., SGS, CE, ROHS, galima paprašius).
Sertifikatai ir pagyrimai
Įmonė buvo pripažinta Nacionaline{0}}aukštųjų technologijų įmone ir yra pagrindinis talentų projektas Shaoxing City „Įžymių mokslininkų žemėje“. Mūsų išskirtinę mokslinių tyrimų ir plėtros komandą sudaro profesoriai ir mokslų daktarai, besispecializuojantys pažangių keraminių medžiagų ir komponentų, įskaitant silicio karbidą, didelio -grynumo silicio karbidą, boro karbidą, deimantinį silicio karbidą, itrio oksidą, aliuminio oksidą ir aliuminio nitridą, srityje. Mes pateikėme daugiau nei 30 Kinijos patentų. Turime pažangius technologinius procesus, įvaldome tokias technologijas kaip sukepinimas, formavimas, šlifavimas, CNC apdirbimas, gręžimas lazeriu, klijavimas ir poliravimas. Pritaikome visų rūšių keramikos gaminius pagal klientų poreikius.
gamyklos stiprumas
Mūsų skaitmeninėse dirbtuvėse, „Intelligent Factory“ ir{0}}duomenų rinkimo realiuoju laiku sistemose taikomi taupūs gamybos principai, siekiant sumažinti atliekų kiekį ir maksimaliai padidinti išteklių efektyvumą. Naudodami CNC apdirbimo technologiją, pramoninio daiktų interneto (IIoT) technologiją ir automatizuotas valdymo sistemas, pasiekiame sklandų ryšį ir bendradarbiavimą tarp gamybos įrangos, taip maksimaliai sutaupydami gamybos.
Populiarus Žymos: kameros įdėklas, kamerų įdėklų gamintojai, tiekėjai, gamykla
